半导体行业中超纯水系统的制造工艺
为满足用户需求，达到达标水质，尽量减少各级污染，在工艺设计中，以符合国家自来水标准的水为源水，安装介质过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器、RO反渗透主系统、EDI超纯水系统等预处理系统。
1. 介质过滤器的主要作用是去除源水中的悬浮物和机械杂质。设备采用优质不锈钢材料制造。机体内装有配水帽、精制石英砂等，以及其他填料。合理的石英砂充填比例和良好的配水系统使系统水质更加稳定。此外，设备还具有气冲洗功能，可最大限度地去除介质和床层上的污垢，提高出水水质，延长工作周期。
2. 活性炭过滤器具有除臭、脱色、除油、吸附有机杂质等功能，能最大限度地去除水中的游离余氯，保证反渗透膜的进水水质。设备采用优质不锈钢材料制造。
3.RO主机系统引入国际先进的反渗透技术，利用压差原理有效去除水中盐分，脱盐率达99%左右。
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